主要技术参数:
型 号
Altia 350
Altia 600
Altia Premium 350
Altia Premium 600
测量范围
370mm
620mm
应用范围
470mm
720mm
垂直度误差
15µm
20µm
8µm
12µm
*大允许误差
3+L(mm)/175µm
重复度
2µm
操作时间
100小时
40小时
标准测力
0.8N
分辨率
0.001µm
*大移动速度
1m/秒
数据输出接口
RS232C
气浮
无
有
环境温度
+10ºC - +40ºC