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水平减薄机-蓝宝石、GaAs外延片、气缸表面等的加工设备
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产品名称:
水平减薄机-蓝宝石、GaAs外延片、气缸表面等的加工设备
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简单介绍
NanoSurface-180G 水平减薄机是超精密半自动减薄机，是硅晶片、GaAs和蓝宝石晶片的背面减薄、光学镜片及其他磨具、精密半导体零部件的精密减薄的专用设备。
超精密主轴系统是半长久性的，使用微米-修整系统控制的精密定位装置加工多张晶片时，可反复维持厚度公差及平面度±0.001mm、反复精度± 0.001mm，没有边缘碎屑或划痕现象。
采用了增量坐标方式(
水平减薄机-蓝宝石、GaAs外延片、气缸表面等的加工设备的详细介绍
- NanoSurface-180G水平减薄机是超精密半自动减薄机，是硅晶片、GaAs和蓝宝石晶片的背面减薄、光学镜片及其他磨具、精密半导体零部件的精密减薄的专用设备。
- 超精密主轴系统是半长久性的，使用微米-修整系统控制的精密定位装置加工多张晶片时，可反复维持厚度公差及平面度±0.001mm、反复精度± 0.001mm，没有边缘碎屑或划痕现象。
- 采用了增量坐标方式(Incremental)，可任意设定设备原点(Reference Point) ，所以操作简单容易。
- 如蓝宝石晶片、硅晶片、GaAs需要平面加工的时候，主要将陶瓷、树脂、金刚石砂**与水溶性冷却液一起使用，根据砂轮的目数（Mesh）能达到镜面级(Mirror-like level)的减薄。
- 产品的固定方式采用真空吸盘和电磁吸盘两种方式，根据产品的特性使用多孔卡盘。
- 选择事项：自动产品厚度测量装置；自动砂**修整装置；砂轮消耗补偿系统；电脑计算控制系统
- 适用范围：硅晶片、蓝宝石以及GaAs外延片的背面减薄、FDD Head 气缸表面减薄、**气囊传感器（Airbag Sensor）、磁头表面减薄（Video Head Block Surface）、光学镜头（Optical Lens）以及光学玻璃（Prism）、其他磨具产品等。
- 配件：1) 电磁吸盘 2) 多孔卡盘 3) 冷却剂冷却系统 4) 离心分离机 5) 过虑系统 6) 修整装置以及修整块
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Section |
NanoSurface-150G |
NanoSurface-180G |
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*大加工产品 |
Ø170 |
Ø200 |
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砂轮轴转速 |
Max. 2,400rpm |
Max. 2,400rpm |
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工件主轴转速 |
Max. 500rpm |
Max.500rpm |
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砂轮轴进给距离 |
90 mm |
90mm |
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设备尺寸（W×L×H） |
1,247×650×1,650 |
1,247×650×1,660 |
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设备重量 |
680kg |
760kg |
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电源 |
220/380V, 3P, 50/60Hz |
220/380V, 3P, 50/60Hz |
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| - 砂轮轴和工作轴的转速根据产品的特性可调节。 |
| - 砂轮主要使用陶瓷或树脂砂**，加工硅晶片的时候表面粗糙度（Roughness）达到粗磨（Ra0.008~0.013），精磨（Ra0.008~0.013）。 |
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