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高精度单面研磨机-硅晶片、GaAs、LiNbO3、光学滤镜等的加工设备
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产品名称:
高精度单面研磨机-硅晶片、GaAs、LiNbO3、光学滤镜等的加工设备
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简单介绍
NanoSurface 380SV 型号主要加工硅晶片、GaAs、InP、LiNbO3等精度比较小的晶片及AWG、Optical Fiber等光学部件的研磨抛光。
为了加大研磨抛光效果配备了双轴震动装置，震动角度及速度可根据触摸式显示屏的设定值，在微小范围内调节。
震动装置由伺服电机以及Ball Screw驱动，所有加工过程中需要的数据的编辑及运行都在触摸式显示屏上实
高精度单面研磨机-硅晶片、GaAs、LiNbO3、光学滤镜等的加工设备的详细介绍
- NanoSurface 380SV型号主要加工硅晶片、GaAs、InP、LiNbO3等精度比较小的晶片及AWG、Optical Fiber等光学部件的研磨抛光。
- 为了加大研磨抛光效果配备了双轴震动装置，震动角度及速度可根据触摸式显示屏的设定值，在微小范围内调节。
- 震动装置由伺服电机以及Ball Screw驱动，所有加工过程中需要的数据的编辑及运行都在触摸式显示屏上实行。
- 精密抛光时，为了防止化学研磨液腐蚀设备，采用了特殊Urethan压膜处理及特殊材质。
- 研磨盘回转启动及停止时，为了减少对产品的负荷，采用了自动控制慢启动慢停止装置。
- 使用特殊装卡装置（Special Holding Jig），可随时控制产品的加工尺寸。
- 为了配备特殊装卡装置（Special Holding Jig），采用了真空吸盘装卡（Vacuum Chucking）系统，因配备了研磨液自动喷洒装置，可精密控制研磨液的供给。
- 超精密研磨、抛光时为了保证反复精度和生产性，采用了无噪音的驱动系统，采用了高强度铸铁机身及超精密主轴系统，吸收及缓冲了研磨、抛光时细微噪音或震动，提高了产品精度及平面度。
- 适用范围：硅晶片、GaAs、InP、LiNbO3、AWG、DWDM、光学滤镜（Optical Filter）、光学纤维合成物的端面加工、多种加工参数设定、assist R & D
- 配件：1) 夹紧装置 2) 抛光液振荡器以及泵系统 3) 研磨盘
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型号 |
研磨盘尺寸 |
研磨盘回转数 |
电机 |
电源 |
设备尺寸 |
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NanoSurface 380SV |
Ø380 |
0～60 |
Servo 0.4 kW |
220V,2P,50/60Hz |
800×910×1,100 |
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震动电机 |
工作轴 |
装卡尺寸 |
控制形式 |
震动角度 |
震动转速 |
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Servo 50W |
2 |
Max 4” |
PLC & Touch Screen |
Max 15° |
0～15rpm |
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